Модуль «MEMS» для программы COMSOL Multiphysics®
Модуль «MEMS» расширяет возможности базовой платформы COMSOL Multiphysics®, добавляя в нее инструменты для моделирования различных микроэлектромеханических систем, сочетающих в себе любые комбинации электрических, тепловых, механических, а также гидродинамических явлений.
Области применения:
- прочностной анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом геометрической нелинейности, остаточных напряжений и контактных эффектов;
- вибрационный анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом механического затухания, анкерных потерь, термоупругого демпфирования и потерь в тонких пленках разряженных газов;
- расчет электростатического возбуждения кремниевых актуаторов, резонаторов и генераторов;
- моделирование пьезоэлектрических и пьезорезистивных эффектов, в т.ч. ПАВ- и ОАВ-устройств;
- моделирование МЭМС-датчиков давления, ускорения (акселерометров) и вращения (гироскопов);
- тепловой и электротехнический анализ МЭМС-компонентов, микрорезисторов и термоактуаторов;
- моделирование взаимодействия микромеханических конструкций и потоков жидкостей или газов в микронасосах и биодатчиках.
Бренд:
COMSOL Group
Отзывы не найдены